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    微纳结构叁维形貌测量仪

    更新时间：2024-06-04

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    浏览量：2757

    微纳结构叁维形貌测量仪系列微纳结构三维形貌检测仪，基于白光干涉扫描原理，以光波长作为测量基准，利用纳米级高精度扫描系统结合具有自主知识产权的高精度解析算法，实现连续或台阶突变微纳结构表面三维形貌重构，由此获得待测物体三维形貌、表面纹理、微观尺寸等各类外观参数测量结果。
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